Σ２００ウエハ搬送容器は、半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。
半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。　また、容器の材質はシリコンウエハ
のみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。
ウエハを化学汚染する要因は大別すると （1）有機汚染 （2）金属汚染 （3）無機分子汚染　の3つがあります。
Σ２００はこれらの汚染源の極力少ないピュアーな材料を選定している為、ウエハをクリーンに搬送することが
可能となります。（独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。）

Σ-seriesでは、各部品単一材料で構成されており、容器使用後に部品毎に粉砕することでリサイクル可能です。
《 材質 》
・フタ = ポリカーボネート
・クッション（上部のウェハー押さえ部品）= ＰＰ
・カセット（下部のウェハー受け部） = ＰＰ
・パッキン（ガスケット） = エラストマー
・本体（ボトム） = ＰＰ